| Увеличение | Вторичные электроны: x10 - x60 000 Обратно-рассеянные электроны: x10 - x30 000 |
| Ускоряющее напряжение | 5 кВ, 10 кВ, 15 кВ |
| Максимальный размер образца | 70 мм в диаметре и 50 мм в высоту |
| Низковакуумный режим | Доступен |
| Установленные приставки | Энергодисперсионный спектрометр |
Год выпуска:2015
Сведения о метрологическом обеспечении:
-
| Детекторы | Кремний-дрейфовые |
| Спектральный ЭДС-анализ | Качественный/количественный анализ (ZAF, тонких пленок) визуализация и идентификация пиков определение типа химического соединения, Q base (сопоставление спектров) |
| Наиболее легкий распознаваемый элемент | Бор |
Год выпуска:2016
Сведения о метрологическом обеспечении:
-
| Измерительные головки | АСМ и СТМ |
| Доступные СЗМ методы | АСМ, СТМ, наносклерометрия на воздухе АСМ, в жидкости |
| Размер и масса образца | до 20 мм в диаметре, до 10 мм в высоту, до 100 г |
| Область сканирования | 100x100x10 мкм (с датчиками обратной связи) 3x3x2 мкм в режиме высокого разрешения |
Год выпуска:2009
Сведения о метрологическом обеспечении:
-
| Диапазон измерений | От 7 нм до 800 мкм |
| Диапазон измеряемых концентраций | От 0,1 ppm до 20% |
| Емкостная ячейка для образца | SALD-BC75, объём 5 куб. см. |
| Измерительный блока для высококонцентрированных образцов | Да, SALD-HC75, пробы объёмом 15 мкл |
Год выпуска:2015
Сведения о метрологическом обеспечении:
Свидетельство JP.C.27.001.A № 52359
| Рентгенооптическая схема | Брэгга - Брентано, Дебая - Шеррера |
| Радиус гониометра | 114 мм |
| Диапазон одновременной регистрации спектра | 43° |
| Тип детектора | Изогнутый газонаполненный позиционно–чувствительный |
| Диапазон регулирования параметров рентгеновской трубки | 10 — 30 кВ 1 — 6 мА |
Год выпуска:2017
Сведения о метрологическом обеспечении:
-
| Момент при вращении | 250000 нНм – 200 мНм |
| Разрешение момента | 100 нНм |
| Угловая скорость | 0,0001 – 314 рад/сек |
| Максимальный температурный диапазон | –5...+200 °C |
| Подшипники | Шариковые |
| Угловое отклонение | 1...∞ мкРад |
| Угловое разрешение | 10 нРад |
Год выпуска:2015
Сведения о метрологическом обеспечении:
Свидетельство № СП 1093832